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Air filtration

高世代 线湿制程用超高流量过滤滤芯

滤芯适 用于高世代线液晶面板生产制造工艺,主要应 用在高流量要求的工艺点,滤芯能够达到超过200L/min的流量要求,精致的 外观结构能够充分满足设备对空间的要求,2m²以上的 滤膜面积不仅具备高流量的性能,也具备 高纳污量的性能,能够减 少设备在使用过程中因更换滤芯而造成的设备停机次数。滤芯有 多种膜材与多种精度可选。

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电子制程水过滤滤芯

电子制 程水过滤滤芯采用亲水性PES膜材,其非对 称的膜结构使滤芯在保证过滤效率的同时,大大延 长了滤芯的使用寿命,有效节 省了系统的过滤成本。 适合弱酸/碱和超纯水的过滤。

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60T/H超大流量滤芯

60T/H超大流 量滤芯是一款大直径,无中心杆,单开口,并且具 有独特内进外出流向设计的滤芯。超大流 量减少了滤芯和过滤器的使用量。可选用 多种滤膜材质以适应不同应用要求。

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低析出 超高精度终端滤芯

低析出 超高精度终端滤芯采用亲水性PES膜材,专为超 纯水终端过滤设计,具有超低的离子析出,极快电阻率回复能力,大大减 少在线冲洗时间。最高达到0.02μm的过滤精度,确保了 终端超纯水出水水质。

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光刻胶 用终端绝对过滤滤芯

光刻胶 用终端绝对过滤滤芯专为过滤光刻胶设计,采用高流速、高精度的PTFE或尼龙滤膜,结合低析出的HDPE骨架,溶出极低,适用于 光刻胶的终端过滤,可选多种过滤精度:可选0.02µm-10µm 的多种过滤精度,满足不同过滤需求,可以根 据应用和客户需求进行专项定制。

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抛光液深层过滤滤芯

抛光液 深层过滤滤芯利用独特的卷绕设计,能够对CMP的slurry精准过滤,高效拦截大颗粒,放行有效颗粒。由外到内的梯度结构,增加了纳污空间,延长滤芯使用寿命。

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超高纳污量过滤滤芯

超高纳 污量过滤滤芯采用多层纳米纤维材料,在合理 的梯度结构设计下,具备高纳污能力。由粗到 细的渐变孔径多级截留的特性,使滤芯 具有更强的纳污能力,能够有 效改善表面快速堵塞问题,大幅度 延长了滤芯的使用寿命。过滤精度:0.5-90μm的精度范围,能够满 足各种不同过滤精度的要求,适用范 围广非常适用于高悬浮颗粒、胶体类物质、高粘度液体的过滤。

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FFU风机过滤机组

通过与高效/超高效 板式过滤器配合从循环空气中去除有害颗粒,为半导 体和平板显示行业的洁净室和完美体育APP提供净化空气。与洁净 室送风天花系统不同,FFU可产生正压,从而降 低潜在天花旁通泄露的风险。

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