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平板显 示器市场竞争激烈,技术多样。针对于此,制造商 致力于开发更高分辨率的显示器、新的制 造技术和更具成本效益的生产工艺。涉及到环境空气,工艺制 程气以及液体制程的污染控制要求比以往更高。高等级 制程需要将越来越小的污染物控制在更微小的浓度水平。在关键工艺步骤中,大面积 面板上积累灰尘颗粒的可能性非常高,所以需 要的送风量和循环风量很大,来提高空气洁净度,从而控制产品质量。

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